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EUV鏡/軟X射線鏡
我們提供各種高品質(zhì)的EUV（極紫外光刻）/ X射線聚焦鏡產(chǎn)品。
- 產(chǎn)品詳情
- 產(chǎn)品圖片
鏡片種類
· 鏡面形狀：平面，凸面，凹面，球面，圓柱面等
·?適用于各種波長的多層鏡
· 各種單層薄膜（金屬，碳化物，氧化物等）鏡面
· 大型多層膜鏡（最大可達(dá)φ300mm）
· 高耐熱多層鏡
※ 我們也可提供硬X射線相關(guān)產(chǎn)品。
產(chǎn)品實(shí)例
Mo / Si多層鏡
· 這是一款可在13至30nm波長下使用的多層膜鏡；
·?它能夠反射，濃縮和分離EUV光， 多用于EUVL，X射線望遠(yuǎn)鏡，X射線顯微鏡，等離子體診斷，高次諧波利用等實(shí)驗(yàn)；
·?我們還制造耐熱多層鏡（具有阻擋層的多層膜），其間插入有中間層。
? (H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p. 169, Vol. 4, 1996)
X射線鏡的示例性截面結(jié)構(gòu)和X射線反射的結(jié)構(gòu)視圖：
?反射實(shí)際測量值（直接入射角：2度）：
各種Mo / Si多層鏡：
φ100毫米凹面鏡：
φ12英寸平面鏡：
用于Schwarzschild光學(xué)系統(tǒng)的凹面鏡：
分裂凹面鏡：
EUV鏡
EUV寬帶鏡和EUV窄帶鏡
· EUV寬帶反射鏡是一種多層反射鏡，可在比通常的多層薄膜更寬的波長范圍內(nèi)反射，并用于多個(gè)階上的亮線反射。
·?EUV窄帶鏡是具有比通常的多層膜窄的波長半值寬度的多層鏡，并且它可以用于光譜測量等以選擇特定的發(fā)射線。
反射實(shí)際測量值（入射角：垂直入射2度）：
圖例為EUV寬帶球形多層反射器。 一個(gè)Mo / Si寬帶多層膜在φ100mm的Zerodure基板上形成的圖像：
EUV分級(jí)鏡
· 這是一款多層膜鏡，它具有可精確控制的周期長度，該周期長度對(duì)應(yīng)于在基板表面內(nèi)變化的入射角。 可以在整個(gè)基板表面上實(shí)現(xiàn)高反射率。
·?我們將在直徑大于300毫米的彎曲基板上形成分級(jí)鏡。
·?下面的圖分別是形成在凹面鏡上的EUV梯度Mo / Si多層膜的反射率評(píng)估的實(shí)例，以及入射角從直接入射0°變化到直入入射角10°圖例。可以看出， 電路板設(shè)計(jì)使得在入射角處測量的反射峰非常均勻。
分級(jí)鏡像結(jié)構(gòu)的示例。 紅色箭頭代表光線。在基板中心附近，入射角是0度的直接入射角相應(yīng)的多層膜周期長度短。隨著直接入射角朝向基板邊緣增加，多層膜周期長度變長：
掠入射鏡/全反射鏡
· 這款產(chǎn)品是用于EUV區(qū)域中的傾斜入射光學(xué)系統(tǒng)的全反射鏡。
·?我們將在各種基材（平面，凸面，凹面，球面，非球面，圓柱面等）上形成金屬，碳化物和氧化物。
反射實(shí)際測量實(shí)例（Ru單層涂層，入射波長13.5 nm）：
反射實(shí)際測量實(shí)例（SiC單層涂層，入射角10度）：
用于30nm波長的SiC / Mg多層鏡
· 這款產(chǎn)品是用于波長約30nm的高反射多層膜。
? (H. Takenaka et. Al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147, (2005) 1043-1045)
·??它還可用于EUV光條件下的各種應(yīng)用（空間觀察，使用高次諧波的各種實(shí)驗(yàn)）。
反射實(shí)際測量實(shí)例（入射角：垂直入射2度）：
φ1英寸凹面鏡：
用于6nm波長的Cr / C＆CoCr / C多層鏡
·?這是一款在6nm波長附近使用的多層膜鏡。
·?它被開發(fā)為用于會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的多層鏡，多用于顯微光電子能譜。
? (H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p. 255, vol. 104, 2003)
反射實(shí)際測量實(shí)例（入射角：垂直入射2度）：
其他實(shí)例
若您需要制作以下其他類型的各種多層鏡和全反射鏡，也請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。
多層薄膜范例
Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B4C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B4C, Pt/C, Ru/B4C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B4C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC等.
單層鏡范例
Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y2O3,等
