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超高真空原位薄膜制備譜學(xué)系統(tǒng)
超高真空薄膜X射線譜學(xué)系統(tǒng)，可以在超高真空條件下開展薄膜相關(guān)的掠入射X射線譜學(xué)實驗。該系統(tǒng)配備有樣品中轉(zhuǎn)存放臺，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進(jìn)樣腔室傳遞到樣品中轉(zhuǎn)存放臺上。在測試室對薄膜樣品進(jìn)行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號的測量。該系統(tǒng)配置一個高精度6自由度并聯(lián)位移平臺，可帶動整個腔體相對X射線光束線的精密位置調(diào)整。
- 產(chǎn)品詳情
- 產(chǎn)品圖片
六自由度并聯(lián)平臺參數(shù)
運 動 維 度? ：X、Y、Z、α、β、Ψ
X、Y? ?行程 ：±8mm、±8mm
Z? ? ? ? ? ?行程 ：±9mm
α、β行程 ：±3°
Ψ? ? ? ? ?行程 ：±5°
推進(jìn)設(shè)備分辨率：1μm
X、Y運動精度：5μm
Z運動精度：3μm
X、Y重復(fù)運動精度：3μm
Z重復(fù)運動精度：2μm
α、β運動精度：0.069mrad
X、Y移動速度：1mm/s
Z移動速度：2mm/s
負(fù)載（水平）：100Kg
斷電保持力：20Kg
質(zhì)量：10.5Kg
尺寸（直徑*高度）：390*310mm
特點：
- 超高真空實驗環(huán)境
- 樣品變溫測試環(huán)境（300K~1000K）
- XAFS實驗（TEY全電子產(chǎn)額 模式和PFY熒光產(chǎn)額模式可同時進(jìn)行）
- GIXRD 掠入射衍射實驗
- 超高真空條件下樣品傳遞? ??
真空度
樣品切光曲線
